Alicat質(zhì)量流量控制器助推納米級制造

在過去很多年中，人們對計算能力的需求不斷增長，導致電子產(chǎn)品的復雜性和產(chǎn)量都呈指數(shù)級增長。納米級制造的高成本和高靈活性已成為開發(fā)創(chuàng)新產(chǎn)品的主要障礙。超低成本、高性能制造工具的新穎平臺通過將先進的處理能力與大尺寸的基板分離，從而消除了這一障礙。使用較小的基板也可以提高性能，并優(yōu)于現(xiàn)有的商用工具。一直致力于完善和擴展其微細加工和納米加工能力，并不斷尋找可以幫助實現(xiàn)這一目標的新技術。Alicat半導體壓力控制器和MFC系列質(zhì)量流量控制器提供了一個性能、可靠性和價格之間無需折衷的解決方案，這使其成為納米級制造系統(tǒng)的氣體控制必要組成部分。

Alicat為這一挑戰(zhàn)提供了的準確性、響應能力和控制氣體流量需求。Alicat半導體壓力控制器和MFC系列質(zhì)量流量控制器提供了一個性能、可靠性和價格之間無需折衷的解決方案，這使其成為納米級制造系統(tǒng)的氣體控制必要組成部分。

Alicat半導體MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用了層流差壓(DP)技術，可同時測量98種氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，并進行全溫度和壓力補償。MCE系列控制器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、控制響應時間為50-100毫秒。Alicat質(zhì)量流量控制器以驚人的精度和響應時間大大提高實驗質(zhì)量。